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- Profilm3DKLA 光學(xué)輪廓儀
KLA Profilm3D 是一款3D白光干涉輪廓儀。KLA Profilm3D 光學(xué)輪廓儀使用垂直干涉掃描(WLI)技術(shù)與相位干涉(PSI)技術(shù)。以較低的價格實現(xiàn)次納米級的表面形貌研究。采用白光干涉原理，不損傷樣品。
- 型號：Profilm3D
- 更新日期：2025-06-25 ￥面議
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