KLA D600 探針式表面輪廓儀

KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品介紹：

KLA D600 探針式表面輪廓儀采用光學杠桿傳感器技術提供高分辨率、較大的高度測量范圍和準確的微力控制。探針的接觸式測量技術的優(yōu)點是直接測量，與材料特性無關。多種力度調(diào)節(jié)和探針尺寸選擇可以讓機臺對各種結構和材料進行準確測量。這些功能可以表征因添加或移除材料而引起的形貌特征改變，以及測量由材料結構改變引起的粗糙度和應力變化。

KLA D600 探針式表面輪廓儀包括一個200mm自動樣品載臺和具有增強圖像控制的光學器件。Alpha-Step輪廓儀體積小巧，專為高校、實驗室和研究所設計，可為半導體和化合物半導體器件、LED、太陽能、MEMS、汽車和醫(yī)療行業(yè)提供臺階高度、粗糙度和應力測量。

KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品特點：

• 500萬像素高分辨率彩色相機

• 平整的掃描平臺

• 用于測量可視化的側視視圖

• 從0.03到15毫克的力控制范圍

• Z向掃描范圍可達1.2mm

• 200毫米手動XY樣品臺

• 符合CE標準

KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品優(yōu)勢：

• 在重復性和再現(xiàn)性上具有良好表現(xiàn)

• 接觸式測量，適用于多種材料

• 測量軟材料的微力控制

• 梯形失真校正可消除側視圖造成的失真

• 弧形校正補償探針的弧形運動

KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品測量原理：

KLA D600 探針式表面輪廓儀采用了光學杠桿傳感器技術。光學杠桿傳感器利用轉軸組件上表面反射的激光束跟蹤表面形貌。反射的光束隨后投射到光電探測器上。對于 Alpha-Step，光束被分成兩部分：一邊投射到雙電池光電探測器上，另一邊投射到單電池光電探測器上 。這種設計可以在第一個探測器上對較小的步長進行高分辨率測量，而在第二個探測器上對較大的步長進行測量。激光束的偏轉在測探針蹤表面時發(fā)生變化，同時被光電探測器感應到，然后將這種偏轉轉換為形貌信號。光學杠桿的優(yōu)勢在于整個組件的質量小，可以進行低力測量。此外，該傳感器響應速度快，可跟蹤表面形貌的變化。

KLA D600 探針式表面輪廓儀主要應用：

KLA D600 探針式表面輪廓儀行業(yè)應用：

高校和實驗室

KLA D600 探針式表面輪廓儀是任何高校、研究機構或實驗室的重要研究工具。該系統(tǒng)能夠進行接觸式的直接測量，結果與材料性質無關。研究人員能夠測量任何透明或不透明材料的沉積厚度。Alpha-Step輪廓儀操作簡便，簡單培訓即可讓用戶快速掌握和使用。

二次離子質譜（SIMS）產(chǎn)生的凹陷

準確測量二次離子質譜（SIMS）所產(chǎn)生的凹陷的深度，以確定離子濃度和凹陷深度的關系。測量凹陷底面的粗糙度，以表征離子束能量的均勻性。

試驗性生產(chǎn)

Alpha-Step探針式輪廓儀是小批量試驗性生產(chǎn)的理想選擇。操作員可以在樣品的多個位置快速聚焦和測量，以反映樣品表面的工藝變化。Alpha-Step輪廓儀的軟件還支持操作員、系統(tǒng)和批次信息的追蹤，以方便生產(chǎn)中的統(tǒng)計過程控制。

常規(guī)應用

Alpha-Step探針式輪廓儀被廣泛用于生產(chǎn)或研發(fā)。例如測量紡織品安全特征和與紡織品吸光率相關的粗糙度，還有消費電子產(chǎn)品的應用,包括測量觸摸屏形貌和玻璃屏幕上的薄膜臺階高度。

半導體和化合物半導體

測量在半導體前段、后段和封裝工藝中的表面形貌，包括測量光刻膠厚度、蝕刻深度、濺射高度、CMP前后形貌、粗糙度、樣品翹曲和應力，以改進生產(chǎn)工藝控制。

KLA D600 探針式表面輪廓儀產(chǎn)品參數(shù)：

KLA D600 探針式表面輪廓儀測量圖：