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HORIBA 研究級橢圓偏振光譜儀

簡要描述:HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astacq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征特殊設計,雙調制技術使您可以獲得完整的測試結果。相位調制與消色差光學設計的結合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統(tǒng)的特殊設計滿足用戶的期望值,通過模塊化的設計,更多的附件選擇,使得儀器使用能變得靈活。

  • 產(chǎn)品型號:UVISEL Plus
  • 廠商性質:代理商
  • 更新時間:2025-06-24
  • 訪  問  量:2155
產(chǎn)品詳情

HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀




HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品介紹:

HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓偏振光譜儀基于新版的電子設備,數(shù)據(jù)處理和高速單色儀,F(xiàn)astacq技術能夠為用戶提供高分辨及快速的數(shù)據(jù)采集。FastAcq為薄膜表征特殊設計,雙調制技術使您可以獲得完整的測試結果。相位調制與消色差光學設計的結合提供了特別的膜厚測試效果。配備雙單色儀系統(tǒng)的特殊設計滿足用戶的期望值,通過模塊化的設計,更多的附件選擇,使得儀器使用能變得靈活??梢员碚鞲鞣N薄膜材料,包括介電薄膜、半導體、有機物、金屬、超材料和納米材料等。



HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品優(yōu)勢:

靈敏:測量速度有明顯提升

UVISEL Plus相位調制橢偏儀提供簡單快速的偏振調制,可用于各種樣品的測量,F(xiàn)astAcq快速采集技術使得測試靈敏度有了提升,從而能獲得界面簿膜和納米級低襯度襯底樣品的更多信息。

靈活

UVISEL Plus相位調制橢偏儀模塊化設計,可靈活拓展,以適應您的應用及預算需求。相較于其他供應商,UVISEL Plus相位調制橢偏儀系統(tǒng)的可升級性能將更好的滿足您未來的應用需求(190-2100nm),校準僅需幾分鐘。

簡單

AutoSoft軟件界面以工作流程直觀為特點,使得數(shù)據(jù)采集分析更加簡便,易于非專業(yè)人員上手操作。

快速

UVISEL Plus相位調制橢偏儀集成了FastAcq快速采集技術,可在3分鐘以內實現(xiàn)高分辨的樣品(190-2100nm),校準僅需幾分鐘。



HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品測量原理:

HORIBA UVISEL Plus 橢偏儀是利用薄膜的光學特性進行膜厚測量的非接觸測量方法?;谄窆夥瓷浠蛲干鋾r的狀態(tài)變化來測量薄膜的厚度和折射率。當偏振光照射到薄膜表面時,反射光或透射光的偏振狀態(tài)會發(fā)生變化,這種變化依賴于薄膜的厚度、折射率以及入射光的偏振狀態(tài)和角度。通過分析這些變化,可以準確地推導出薄膜的厚度。




HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀軟件:

AutoSoft軟件提供一鍵式測試分析。附帶即點即用的菜單庫幫您掌控一切橢偏分析。

定制菜單

創(chuàng)建您自己的菜單,進行數(shù)據(jù)采集,自動mapping和薄膜結構分析,一鍵即可實現(xiàn)。完備的材料及模型數(shù)據(jù)庫

AutoSoft軟件提供了大量的材料模型便于您對材料及膜系進行描述與設置。

多值計算

多值計算是HORIBA的算法,可快速準確的找到符合的結果。多值計算可以應用于膜厚以及其他色散參數(shù)的計算,能夠減化繁瑣的擬合步驟。

DeltaPsi2為橢偏全部功能服務

DeltaPsi2軟件提供了從測試到建模分析,輸出報告,以及自動操作的全部功能控制,無需多個軟件間切換,使日常測試更加便捷。



HORIBA UVISEL Plus 相位調制型橢圓儀技術特點:

  • 信號采集過程無移動部件

  • 光路中無增加元件

  • 高頻調制50kHz

  • 測試全范圍的橢偏角,Ψ(0-90,?(0-360)



HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀常見應用:

反射及透射橢偏測試

粗糙度

界面

漸變層

周期結構

各向異性

合金

納米顆粒

帶隙計算

n,k多值計算

散射測試

多入射角橢偏



HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀行業(yè)應用:

介電薄膜

半導體

有機物

超材料

納米材料

AndMore…



HORIBA UVISEL Plus 橢圓偏振光譜儀產(chǎn)品參數(shù):


UVISELPlus

UVISELPlusNIR

光譜范圍:

190-885nm

190–2100nm

光源:

75W氙燈

聯(lián)系我們獲取更多參數(shù)…




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